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水素プラズマの定量測定

2003/06/16 20:23

早速質問をさせてください。有磁場マイクロ波プラズマで水素プラズマを立てています。しかし、そのプラズマ量(密度やプラズマ電流など)の測定をする必要が出てきて、その方法がわからずに困っています。どのような方法であればプラズマの定量測定が出来るのでしょうか。プラズマの素人なので、陳腐な質問ですが、宜しくお願いいたします。

sakura-saxophone
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科学
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tetujin3
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2003/06/17 08:45 回答No.1

熱プラズマしか扱ったことのないシロウトなもんで，たぶん，はずしていると思いますが・・・プラズマ電流を測る方法は，2種類あります。ひとつはDC，あるいはRFなど印加する電力から実効電力量として間接的に求める方法ですが，マイクロ波プラズマでは，この方法はつかえませんね。プラズマ自体にプローブを挿入して直接的に測るしかないと思います。以下のHPなどを参考に，原理を学んでください。 http://www.tec.nagano-nct.ac.jp/original/seeds/seeds/seeds_02/seeds_02.html プラズマ密度に関して，これも直接プラズマガスを採取して，プローブ内採取ガスのエンタルピー変化を利用して計測する方法があります。インタネットで検索すれば出てくると思います。数十年前に，日本高周波からOEMで出ていました。直接の計測ができない場合は，シミュレーションにてと言うことになりますが，これについては，また，改めてご質問ください。