Arプラズマによるアルミの変質について

質問

アルミニウム表面にICPでプラズマ照射(Ar)したところ、表面が変色し、化学溶解性も低下しているように思います。
真空中で行っているため酸化皮膜の形成は考えにくいと思うのですが、何か起こり得る反応・現象について
思い当たる方教えてください。　お願いします。

回答No.2

leo-ultra

真空中とはいえ、酸化も否定できませんよ。
Alは酸化されやすいから、ちょっとでも酸素があれば反応しそうです。

さらにArを入れているのだから、超高純度のArでもppmオーダーの
酸素を含みます。
さらにプラズ魔にあたった容器壁から酸素がでたりして。

お礼

なるほど。どうも有難うございます。自然酸化皮膜の結晶状態の変化(例えばαとかβとか・・)とかも可能性あったりするのでしょうか？

回答No.1

sanori

こんばんは。

いわゆる「照射損傷」でしょう。
http://www.google.co.jp/search?hl=ja&q=%E7%85%A7%E5%B0%84%E6%90%8D%E5%82%B7%E3%80%80%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E&lr=

そして、表面から若干奥に、Ａｒバブルが溜まっていると思います。

お礼

どうも有難うございます。割と一般的な現象ということでしょうか。
照射損傷について、勉強してみます。