DCマグネトロンスパッタ

質問

上記の装置を利用してTiO2の高配向性薄膜を作成しようとしているところの大学4回生です。
当然そんな簡単にはいくはずもなく苦労しています。
そこで似たような装置を使ったことがある、または詳しい方に質問があるのですが、
Arのみで前スパッタするときには青白いプラズマが立って、粒子が進んでいく(多分)
道が見えるのですが、いざ酸素を入れてスパッタさせようとすると
放電電圧が上がり、プラズマの色もピンク色になってしまいます。しかも
道は見えなくなり拡散したような感じに見えます。これはよいのでしょうか？
酸素流量やDC電力を調整したりしているのですが、なかなか進みません。
しかも今教授は出張で質問できない。。。

誰か何かしらわかる方がおられましたらよろしくお願いいたします。

回答No.1

BCT · ベストアンサー

TiO2の高配向性薄膜については自信がありませんが。。。
以前、マグネトロンスパッタで酸化膜を製膜していました。
詳しいことはこの文章ではわかりませんが、

> Arのみで前スパッタするときには青白いプラズマが立って、粒子が進んでいく(多分)
> 道が見えるのですが、いざ酸素を入れてスパッタさせようとすると
> 放電電圧が上がり、プラズマの色もピンク色になってしまいます。しかも
> 道は見えなくなり拡散したような感じに見えます。

上記の状態になったことはあります。
酸化膜の場合、酸素抜けを防ぐために酸素をArなどと混合しスパッタを行います。
酸素の量を変えるとわかりますが、酸素が少ないとプラズマは赤っぽく、逆に多いとプラズマは白くなりました。
酸素抜けなどを分析機器で調べながら、適したAr/O2比、DC電圧をさがしてください。