X線回折から膜厚を求める方法

質問

X線回折測定で得られるフリンジ（周期的な振動）からフィッティングを行うことによって単層の薄膜の厚さを求めることが可能なようですが、どんな関数にフィッティングしていいか分かりません。
おそらく強度と厚さのパラメータが入った関数だと思いますが。。。
よろしくお願いします。

回答No.1

usokoku

小角散乱かな
http://www.panalytical.jp/prod/xrd/system/sax/

単分子層の研究で、どうのこうのとか、発表していたから。
単分子層とＸ線との関係は、私ではわかりませんでした。

お礼

ありがとうございます。大変参考になりました。