ベストアンサー 内部応力 2002/06/04 09:38 ステンレスまたは高速度鋼の基板上に成膜した薄膜の内部応力測定を行いたいのですが、片持ち梁法、円板法、回折法以外に測定する方法はありますでしょうか？ みんなの回答 （1） 専門家の回答 質問者が選んだベストアンサー ベストアンサー tetujin3 ベストアンサー率47% (116/246) 2002/06/06 10:00 回答No.1 質問に対する質問ですみません。 回折法って，なんですか？X線回折では，たしかに 回折ピークのブロードニングから，内部ひずみを 測定することが可能です。薄膜に対しては，難しいのですが，実施例は無数にあると思います。 一方，光を使った方法もあります。反射光の強度を調べる 方法です。以下のURLはご参考まで。 http://www.vieetech.co.jp/analysis/ksa-mos/ksa-mos.htm 参考URL： http://www.vieetech.co.jp/analysis/ksa-mos/ksa-mos.htm 質問者 補足 2002/06/07 12:21 tetujin3さん回答ありがとうございます。 tetujin3さんの仰るとおり回折法とはｘ線回折を用いた方法です。 現在鋼、Al合金やMg合金上に成膜したアモルファス薄膜の内部応力の緩和に関する研究を行う予定なのですが、上記以外の方法でほかにありますでしょうか？ 広告を見て全文表示する ログインすると、全ての回答が全文表示されます。 通報する ありがとう 0 カテゴリ 学問・教育その他（学問・教育） 関連するQ&A 残留応力を持った片持ち梁に繰り返し曲げ応力をかけ… 残留応力を持った片持ち梁に繰り返し曲げ応力をかける場合の応力計算はどうするのでしょうか？ 幅：6mm 厚さ：5mm 長さ：100mm 上記の様な片持ち梁の先端に50Nの繰り返し荷重を掛けた場合 断面係数Ｚ：ｂＨ^2/6⇒25mm^3 曲げモーメントＭ：50*100⇒5000Nmm 曲げ応力度：Ｍ/Ｚ⇒200N/mm^2⇒200MPa と理解します。 【質問】 上記条件に加え梁材に100MPaの残留応力が掛かっている部材を使用した場合 梁の寿命はどのように考えれば良いでしょう？ 残留応力のない同寸法の梁の先端に25Nの繰り返し荷重を掛けた場合と同じですか？ （単純に200MPa-100MPa=100MPaと考えてもOKですか？） 薄膜の密度測定方法 ガラス基板、多孔質体上に薄膜を成膜しているのですが、 薄膜のみの密度を測定することは可能なのでしょうか？ 教えてください。 疲労寿命における残留応力の効果 繰り返し荷重による疲労試験の場合。表面に圧縮の残留応力が掛っている部材は、その残留応力以下の引っ張り応力では破損しない。 と考えてよいでしょうか？ 例：片持ち梁の部材の表面（梁長手方向）に400MPaの圧縮残留応力が掛っている場合。梁の根元にかかる繰り返し応力が400MPa以下であれば、計算上無負荷のため絶対に梁は疲労破壊しない。 この考えは正しいでしょうか？ 勿論内部や表面に欠陥は無い事を前提にした考えです。 最近同じような質問ばかりさせ頂いておりますが、どうにもスッキリせずどの質問も閉じられない状態です。 よろしくお願いいたします。 天文学のお話。日本ではどのように考えられていた？ OKWAVE コラム 許容応力について Ｌ型のアングルの許容応力について考えていてよくわからなくなったので質問します。 まず、条件は以下のとおりです。 Ｌアングル（サイズをa×aとする）を時計で9時30分を指すような向きにして30分の方の腕を固定する。9時のほう（水平）の腕に垂直に荷重Ｆを加える。Ｌアングルの断面二次モーメントはＩとする。安全率をAとする。このときの許容応力σ0は？ 次に、自分で考えた方法を説明します。これは明らかに間違ってるのですが、どうしたらいいかわかりません。 (1)この条件でＬアングルに荷重をかけると90の角をなすところに応力が集中する。 (2)上の条件は長さａの片持ち梁に垂直に荷重がかかったときと同じと考え（この時点で間違ってる？）、片持ち梁の固定部分にかかる応力を求める。 (3)曲げモーメントＭを求める。Ｍ＝Ｆ・ａ (4)σ＝Ｍ・y/Ｉより片持ち梁の固定部分にかかる応力σ1は σ1＝Ｆ・a・y/Ｉ (5)σ0＝σ1/A ＝Ｆ・a・y/(AＩ) こうしてしまうと、許容応力が断面二次モーメントに反比例してしまいます。 根本的に解き方が間違ってるのでしょうか？だれかどこが悪いのか教えてください。 両持ち梁の座屈時の変位と残留応力の関係 内部応力を持つ両持ち梁が座屈するという現象に悩んでいます。 まずは、どれだけの内部応力を持つかを定量化したいのですが、 座屈時の梁の反り量から内部応力を算出すること方法を教えて頂けないでしょうか。 よろしくお願いします。 溝形鋼のねじり応力 溝形鋼のねじり応力の計算を教えてください。 H×w×ｔ＝100×50×3.2 Ⅼ＝10ｃｍ の片持ち梁の先端に500kgfの荷重を載荷したときの応力の計算です。 載荷位置は、たてウエブの外面から2?の位置、フランジ先端です。 教科書等では、リブを設けることを必要としていますが、リブを設けない場合の応力をの検定方法がよくわかりません。 ご教授いただきたくお願いいたします。 (材料力学）固定端に10Gの入力が入ったときの片持ち梁について 片持ち梁で、固定端に、梁とは直角方向に10Gの加速度が一瞬入ったとき、この梁の内部応力、たわみ、たわみ角をどのようにして求めればよろしいのでしょうか？梁には、荷重はかかっておらず、自重のみです。よろしくお願いします。 ANSYSによる回転体の応力解析について 現在、回転円板内の応力の解析を試みています。（回転円板は中実です。） その時の、拘束方法が分からず困っています。 回転円板が中実のため、回転軸を拘束しようと思い、 回転軸上にラインを引きそのラインを拘束したのですが、 ボリュームとラインがつながっていないせいか、 「拘束されていない」とのエラーが出ます。 このライン(回転軸)とボリュームを連結させる方法は無いのでしょうか？ またこの方法以外に、回転円板内の応力を解析する上手い方法はございますか？ 大変困っております。 回答頂けたら嬉しく思います。 梁の疲労寿命について、表面応力以外の影響はどのよ… 梁の疲労寿命について、表面応力以外の影響はどのように考慮すれば良いでしょう 梁にかかる許容応力を求める際、材料から求めた’引っ張り応力’’疲労限度’’降伏応力’から疲労限度線図を用いようと考えます。 仮に梁の長さ方向に残留応力がある場合、負荷応力から残留応力を差し引きします。（圧縮残留応力なら、その分応力をマイナス、引っ張り残留応力なら、その分応力をプラス） そして亀裂発生は梁の表面から発生するので、表面の残留応力を考慮した疲労限度線図が疲労寿命の判断材料となると理解しています。 【質問】 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計測し、応力に変換して出力するものだと認識しております。 ここで、樹脂の残留応力を求める場合、 高温での硬化中には応力緩和が起こりますが、ひずみ量自体に変化はない ので、冷却後の残留応力をひずみから変換すると、 高温域で緩和されたはずの応力まで余計に計測してしまうということには ならないのでしょうか？ ご教授よろしくお願い致します。 フォトルミネッセンス測定で ガラス基板上に製膜したシリコン薄膜のフォトルミネッセンスを 測定したんですが、膜が薄いせいか基板が光ってしまいます。 何かよい方法はないでしょうか？ ｉｍｐｅｄａｎｃｅについて（電気化学に関して詳しい方よろしくおねがいします。） モリブデン基板上にＣＶＤ法で成膜させた膜抵抗を測りたいと考えております。インピーダンスアナライザを用いて測定する場合、単純なレドックス対を用いた場合のコールコールプロットの挙動から求めることはできるのでしょうか？ それとも、何か良い方法はあるのでしょうか？ テスターで計るというのはやはり無謀な気がすると思うので、よろしくお願いします。 ＲＣ小梁の設計用応力について 等スパン、等荷重状態とならない、ＲＣ連続小梁の設計用応力を普段どのように求められているか教えて下さい。 ＲＣ規準に示されている略算方法はあくまで隣り合う梁のスパン・荷重が等しいとみなせる場合のみ使えるもので、これらが大きく異なる場合は使用できないと認識しています。 この場合は固定法により求めればよいかと思いますが、実務上、連梁を固定法で解いているのをあまり見かけません。 みなさんはどのように対処されているのでしょうか。 お手数おかけして申し訳ございませんが、 ご教示いただけないでしょうか。 宜しくお願いいたします。 片持ち梁の行列計算方法 いつも利用させて頂き助かっております。 現在有限要素法（FEM）の勉強をしておりますが、単純な片持ち梁の撓み（発生応力）を行列式を使って解きたく思います。 通常の梁の撓み計算では 撓みmax＝ＷL^3／3EI （W：梁上の荷重 L:梁長さ E:ﾔﾝｸﾞ率 I:断面二次ﾓｰﾒﾝﾄ） で解けますが、行列式での解き方を教えて頂きたく思います。 例えば Φ100 長さ1000の片持ち梁の先端に50の荷重が負荷された場合の 最大撓みを行列式を使って解く場合はどうするのでしょうか？ 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補足
tetujin3さん回答ありがとうございます。 tetujin3さんの仰るとおり回折法とはｘ線回折を用いた方法です。 現在鋼、Al合金やMg合金上に成膜したアモルファス薄膜の内部応力の緩和に関する研究を行う予定なのですが、上記以外の方法でほかにありますでしょうか？