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内部応力
ステンレスまたは高速度鋼の基板上に成膜した薄膜の内部応力測定を行いたいのですが、片持ち梁法、円板法、回折法以外に測定する方法はありますでしょうか？
- wolff
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質問に対する質問ですみません。 回折法って，なんですか？X線回折では，たしかに 回折ピークのブロードニングから，内部ひずみを 測定することが可能です。薄膜に対しては，難しいのですが，実施例は無数にあると思います。 一方，光を使った方法もあります。反射光の強度を調べる 方法です。以下のURLはご参考まで。 http://www.vieetech.co.jp/analysis/ksa-mos/ksa-mos.htm
補足
tetujin3さん回答ありがとうございます。 tetujin3さんの仰るとおり回折法とはｘ線回折を用いた方法です。 現在鋼、Al合金やMg合金上に成膜したアモルファス薄膜の内部応力の緩和に関する研究を行う予定なのですが、上記以外の方法でほかにありますでしょうか？