GG現像液とは

質問

ＰＭＭＡを加工しようと思っています。よく調べますとＡｒＦやＫｒＦレーザーでＰＭＭＡを照射したのちＧＧ現像液を使ってエッチングすると記載されておりました。このＧＧ現像液とはどのようなものでしょうか？有機溶媒の混合物であることは分かっておりますが細かな成分比が分からず困っております。宜しくお願い致します。

回答No.1

noname#160321

立命館大学のＳＲセンターにお問い合わせされるのが良いと思います。
http://www.ritsumei.ac.jp/acd/re/src/guide/index.htm
立命館大学理工リサーチオフィス　市原
TEL：077-561-5025
E-mail：t-ichi@st.ritsumei.ac.jp
論文：
http://xn--pqq886av86b.com/tr/pdf/info/sei10490.pdf
加藤　史樹：立命館大学　
藤縄　伸哉：立命館大学　
杉山　　進：立命館大学（工学博士）COE推進機構教授
論文↓を買って読めば出ています。
http://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/123/9/123_368/_article/-char/ja
「GG 現像液{60vol% 2-(2-n-butoxy-ethoxy) ...」らしいです。

お礼

貴重なお時間なか、どうもありがとうございます