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PMMAのMIBKを使ったエッチング
リソグラフィのレジストにPMMAが使われていて， メチルイソブチルケトン(MIBK)と2-プロパノール(IPA)を1:3の割合で混ぜたものを現像液に使うという記述をよく見るのですが，このエッチングの化学反応を詳しく書いている専門書ってありますか？ 特にエッチング時の温度の依存性が知りたいのですが... ご存知の方はご回答よろしくお願いします．
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PMMA(PolyMethylMetaAcrylate）とMIBK+IPAの相互作用は、反応ではなく、MIBK+IPAがPMMAを溶かすだけです。 PMMAは有機溶媒に弱く、色んな物に溶解します。
お礼
ご回答ありがとうございます． 特別な化学反応があるわけではなかったんですね． どうりで本を探しても載っていないわけです． 大変参考になりました．ありがとうございました．