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DLCの膜厚測定はどんな方法がありますか?

DLCの膜厚測定はどんな方法がありますか? 膜厚2μmのDLCコーティングされた物のコーティング膜の厚さを測定したいです。 コーティングは全面コーティングするので接触式では測定できません。 コーティングされた製品を非接触式で膜厚を測るにはどんな方法が一番いいのでしょうか? 測定物が製品なので破壊式では商品にならないので製品を傷つけない方法がいいのですが、知恵を貸してください。

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noname#210617
noname#210617
回答No.1
tony-tony
質問者

お礼

ありがとうございます。 参考になりました。 これもまた一つの安ですが、その他の測定方法はどうなんでしょうか??

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