ベストアンサー スピンコーターで用いられるスピンコート法を教えてください。 2002/08/21 16:45 スピンコート法が詳しく載った参考文献や論文などがあれば教えてください。 よろしくお願いします。 みんなの回答 (1) 専門家の回答 質問者が選んだベストアンサー ベストアンサー physicist_naka ベストアンサー率63% (45/71) 2002/08/21 18:36 回答No.1 微小な回路を作製する際の一つの行程で、基板に薄くレジストを塗る方法です。基板を高速で回転させて、回転の中心にぽたっと一滴溶媒に溶かしたレジストを落とします。すると、さーっと周囲に薄く広がり、溶媒が蒸発して、薄いレジスト膜ができるというやり方です。 ちょっとしか書いてませんが、とりあえず「実験物理科学シリーズ4 メゾスコピック伝導」共立、田沼静一・家泰弘編の、p203にあります。 質問者 お礼 2002/08/23 11:47 とても参考しなりました。 ありがとうございました。 広告を見て全文表示する ログインすると、全ての回答が全文表示されます。 通報する ありがとう 0 カテゴリ 学問・教育自然科学物理学 関連するQ&A スピンコート法について 薄膜の形成方法にスピンコート法があると聞きました。 このスピンコート法を用いるとなぜ薄膜が形成できるのですか? (どのような原理で薄膜を形成するのですか?) また、膜厚を制御するにはどのような条件を変更すればよいのでしょうか? 初歩的な質問で大変申し訳ないのですが、教えてください。 有機ELのスピンコーティング法について ある論文を読んでいたら、「スピンコーティング法」というものが出てきました。薄膜を作る方法の一つのようなのですが、どのような方法でしょうか? また、この方法で薄膜を作る際、用いる溶液の粘度もしくは濃度が問題となってくるようですが、それはなぜなのでしょうか? 参考HPもしくは文献等も教えていただけるとありがたいです。 真空蒸着とスピンコート タイトルにあるような薄膜の形成方法について調べる方法を教えてください。具体的に参考HP、参考文献、論文等を教えていただけるとありがたいです。宜しくお願いします。 天文学のお話。日本ではどのように考えられていた? OKWAVE コラム スピンコートの方法 スピンコートする際の溶液の滴下量がわかりません スライドグラスに滴下するならば、スライドグラスの真ん中に 数滴の溶液を落とせばいいですか。 それとも、スライドグラス前面に表面張力が働くくらい、なみなみ 溶液をそそいだほうがいいのですか? 教えてください! スピンのオペレータ 私は量子力学を勉強しているものです。 シュレーディンガー方程式において、オペレータの作り方は、運動量を p→-ih∇ と置き換えるだけだと教わりました。 しかし、スピンのオペレータはテンソルで表されていて、上のやり方でオペレータを作ったものとは思えません。スピンのオペレータはどうしてテンソルで表されているのですか?どなたか教えてください。また、これに関する参考文献・URL等ございましたら教えてください。よろしくお願いいたします。 スピンエコー法について スピンエコー法を利用したときに横緩和時間(スピン-スピン緩和時間)だけでなく縦緩和時間(スピン-格子緩和時間)も測定できるらしいのですが、その方法を教えて下さい。また、その際に試料にかけるパルスの条件などについてもよろしくお願いします。 スピンサーブ練習法 私の知り合いが、もうすぐ試合で、 スピンサーブを完成させたい!と言っているのですが、よい練習法はありますでしょうか・・・>< コートの保管法!! コートの保管法を教えてください。 これから冬ってときにコートの保管法を聞くのもなんなんですが…(笑) ハンガーにかければいいのか、それともたたんでおくのがいのか?? コートって結構重いので、ハンガーにかけると肩の部分に重みが集中して傷みそうで…。 でもたたんでおくと、畳みじわがつきそうで…。 みなさんはどうなさっていますか? シランカップリング剤の使用法について 3-アミノプロピルトリエトキシシランを用いてスライドグラスをシランコートしたいのですが、使用方法が調べてもわかりません。どのような手順で行ったらいいか教えていただきたいです。スピンコート法を用いたいのですが… 具体的な手順を教えていただけたら幸いです スピンサーブのコツ 最近スピンサーブを練習しているのですが、 ほとんど振り上げるときに面の右側フレームの内側の部分にあたり うまく打てません。 時々、サービスコートに収まるときもキックせず、トップスライスっぽくなってしまいます。 どなたかうまいスピンサーブの打ち方、自分のやった練習方法などありましたら教えてください。 スピン0,スピン1に関して(初学者です…) スピン0,スピン1に関して(初学者です…) シッフの量子力学(上)を読んでいるのですが、P231に、 「スピン0(スカラー)粒子およびスピン1(ベクトル)粒子」 という表記があるのですが、 まず、スピン0、スピン1とはどういう意味なのでしょうか… そして、スカラー、ベクトルの意味が全く分かりません… 読み進めていたら、突然このような表現が出てきて、とても困っています。。 どなたかお力をお借りできませんでしょうか。 どうかよろしくお願いいたします。 スピンボックスについて C#ではスピンボタンで数値を入力できる「スピンボックス」をNumericUpDownコントロールで使用することができましたが、Javaでそれに当たる操作を見つけることができません。 具体的には、数字の幅は1から100程度、一つのウィンドウにスピンボックスを2つ配置しそこに書かれた数字を整数型としてそれぞれ読み取ってプログラム内で利用したいと考えています。 参考サイトでもいいので、Javaでのスピンボックスの利用方法を教えてください。よろしくお願いします。 日本史の転換点?:赤穂浪士、池田屋事件、禁門の変に見る武士の忠義と正義 OKWAVE コラム 正規乱数の発生法(Inversion法)について 正規乱数についてですが、様々な発生方法があるかと思います。 私は、Box-Muller法と中心極限定理の二つの方法しか知らないのですが、 いろいろ調べるとInversion法というのがもっとも精度がいい?との意見もあるようでした。 どのようなものなのか本やネットで、結構探したのですが見つけられませんでした。 もしどなたかご存知でしたら、 理論面(数学)の参考文献(本または論文)またはHPと 実際のプログラミング(C++またはVB)が載っている参考文献またはHPを教えていただけないでしょうか? ESRのDMPO法について ESR(電子スピン共鳴)について質問させていただきます。ラジカルをDMPOを用いてスピントラップ法での検出においてのスペクトルの解析法を教えていただきたいのですが、例えばOHラジカルをDMPOによってトラップさせた際に生じるスペクトルは、文献によれば1:2:2:1の大きさので4本のスペクトルを生じていました。そこで、まず3本に分かれて次に2本に分かれて計4本のスペクトルが生じると記載されていたのですが、どうしてまず3本に分かれて、次に2本に分かれるのでしょうか?Nの次にあるHがまず3本と書かれているのもあり、どうしてでしょうか?よろしくお願いします。 スピンとスピン行列についてお聞きします スピンは1/2なのがフェルミオンで0や1なのがボソンだと良く伺いますが、では、どうして数値そのものをスピンだと言ったら叱られて「スピン行列で書け!」と命令されるのでしょうか? αスピンとβスピンの関係 大学の課題レポートの中にわからない問題があり、調べても解決できそうにないのに、提出期限が迫っているのこともあり質問することにしました。どうかよろしくお願いしますm(_ _)m 「H-C-C-Hにおいて左側のHがαスピンであるとき、スピン-スピン結合している際の右側のHはαスピンとβスピンどちらが安定か。分極機構を用いて説明しなさい。」 αスピンとβスピンの関係がよくわかっていません。そして、何より分極機構がなんなのかよくつかめていません。 内容は物理化学だと思います。 それでは解答も方お待ちしています。よろしくお願いしますm(_ _)m 社会福祉関係法について 私は社会福祉学部の学生です。ゼミの研究テーマとして「戦後の社会福祉関係法の制定推移」について勉強しています。幅広いテーマなのでどのように焦点を絞って論文を書けばよいか困っています。参考になる文献もしくはテーマそのものについて詳しい方いましたらどんなことでも構いませんので教えてください。参考にさせて頂きたいと思います。よろしくお願いいたします。 詩の分析法について書かれている参考図書を探しています フランス、イギリス、アメリカの詩を読んでいるのですが、卒業論文レヴェルで必要な、詩の分析法について詳しく教えてくれる参考図書はありませんか。または、卒論指導の授業で紹介された参考文献でもかまいません。お国によっても、伝統が違うので分析法も違うかもしれませんが・・・。どれか一つでもあると、突破口になって助かります。ちなみに読んでいるのは19世紀の詩です。よろしくお願いいたします。 ロールコート法 薄膜を作製するときの方法の一つ「ロールコート法」について知りたいのですが、検索してもまともな情報が得られません(例えば装置図)。よいページをご存知の方がいましたら教えてください。よろしくお願いします。 赤シートによる暗記法について 高校2年生です。 私の学校では卒業論文(二万字)1年間かけて制作するのですが現在はテーマ決定の段階です。 まえから疑問に思っていた『赤シートによる暗記法の妥当性』について認知心理学、記憶心理学などの観点からやりたいと思っているのですがこれで論文作成は可能でしょうか? 論文を調べても先行研究はなされていないようなのです。 そしてどういったことを調べて妥当性を検証すればよいのでしょうか?なかなか思いつきません。 参考になる文献などありましたら教えてください。 注目のQ&A 「You」や「I」が入った曲といえば? Part2 結婚について考えていない大学生の彼氏について 関東の方に聞きたいです 大阪万博について 駅の清涼飲料水自販機 不倫の慰謝料の請求について 新型コロナウイルスがもたらした功績について教えて 旧姓を使う理由。 回復メディアの保存方法 好きな人を諦める方法 小諸市(長野県)在住でスキーやスノボをする方の用具 カテゴリ 学問・教育 自然科学 理科(小学校・中学校)化学物理学科学生物学地学天文学・宇宙科学環境学・生態学その他(自然科学) カテゴリ一覧を見る OKWAVE コラム 突然のトラブル?プリンター・メール・LINE編 携帯料金を賢く見直す!格安SIMと端末選びのポイントは? 友達って必要?友情って何だろう 大震災時の現実とは?私たちができる備え 「結婚相談所は恥ずかしい」は時代遅れ!負け組の誤解と出会いの掴み方 あなたにピッタリな商品が見つかる! OKWAVE セレクト コスメ化粧品 化粧水・クレンジングなど 健康食品・サプリ コンブチャなど バス用品 入浴剤・アミノ酸シャンプーなど スマホアプリ マッチングアプリなど ヘアケア 白髪染めヘアカラーなど インターネット回線 プロバイダ、光回線など
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