４端子法の測定 実験エラー
導電性フィルムの表面抵抗を測定するために、四端子法での測定を行っています。
使用機器
デジタルマルチメーター Agilent34401A
プローブヘッド signatone社製
表面抵抗が100 kohm/square程度のサンプルを測定しているのですが、
0.2 ohm (表面抵抗は0.2*4.532 ohm/square)程度の値が表示されます。
そのため、実験機器に根本的な問題があると考えています。
周りに詳しい人がいないため困っています。
どこを気をつければよいか、何から確認すればよいのか教えて頂けないでしょうか？
よろしくお願いいたします。
＜既に確認したこと＞
プローブの配線は確認済みです。
（プローブの左から赤→青→黒→緑）の順ですので、
添付の写真の配線で問題ないと思います。
抵抗端子を用いた簡易測定（４端子法）で、
1 ohm, 100 ohm, 1M ohm はきちんと測定されることを確認済みです。
お礼
まことにありがとうございます！