アルミニウムを成膜する場合、フィラメントを用いるのは何故？

質問

私は真空蒸着法による金属薄膜の作製の実験をおこないました。
　その実験でアルミニウムを成膜する時、蒸着ボートではなくフィラメントを用いました。何故、フィラメントを用いるのか、わかりやすく教えて下さい。
お願いします。

回答No.1

physicist_naka · ベストアンサー

アルミニウムとボートが反応しやすいからだと思います。
聞いた話によりますと、ボートにアルミニウムをのせて
蒸着を行うと、ボートが切れてしまったそうです。
ボートは薄いので、裏面まで反応したのでしょう。
フィラメントだと、径がボートの厚みに比べて大きく、
中心まで反応が起こりにくいからだと思うのですが、
大丈夫です。しかし、何度か使うともろくなって折れて
しまいます。

お礼

ありがとうございました。どうしてなのか知ることができました。
他にも、温度とかも関係しているのかもしれませんね。
本当にありがとうございました。