真空蒸着についておしえてください

質問

電流をあげていくと（ボートをあたためていくと）、材料(粉末)がボートからこぼれていまいます。
さらに、蒸着後のボートに少量の残留物がありました。
蒸着させているのは硫化アルミニウムと硫化銅を混合した材料です。
CuAlS2(二硫化銅アルミニウム)薄膜を作製しようとしています。
膜がうすくなってしまう原因としては、
１、ボートから材料がこぼれるせいで蒸発する材料の量が減ってしまうこと。
２、ボートに残留物があったため、蒸発しきっていない材料があるため。
が考えられるのですが、ほかにどのような理由が考えられるでしょうか。
また、解決策などありましたら教えてください。
現在、膜が薄いために2回蒸着を行っています。

回答No.2

leo-ultra

>ある一定の値まで電流をあげると、ボートが温まるためだと思いますが材料が動き出してボートからこぼれていってしまいます。

ボートが傾いているということですか？

ボートが水平なのにこぼれるのであれば、粉が均一に
温められていないということではないでしょうか？

すごくゆっくり電流を増やしていく。

お礼

ボートは水平です。
電流はすごくゆっくあげていますが、なぜ均一にあたたまらないと粉末がおちてしまうのでしょうか・・・？

回答No.1

leo-ultra

> 材料がボートからこぼれてしまいます。

この現象がよくわかりません。
本当にボートを使っているのですか？
それともタングステンの線を巻いてボート代わりに使っているという
ことでしょうか？（この場合、隙間がたくさんある。）

それともボートよりはるかに山盛りに材料を入れているということでしょうか？
それならば、材料を砕いて平らになるようにするとか、もっと大きなボートを使う等すればいいのでは？

膜が薄くて困っているのであれば、いっそのこと基板を蒸着源に近付ければ？　（あまりいいことではないらしいですが、まあ薄いだったしかたない。）

お礼

タングステンのボートを使っています
ある一定の値まで電流をあげると、ボートが温まるためだと思いますが材料が動き出してボートからこぼれていってしまいます。

大きなボートを使用すると、装置の限界以上の電流をながさなければいけない可能性がでてきたので大きなボートは使用できません
装置の構造上材料と試料はこれ以上近づけることができません