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※ ChatGPTを利用し、要約された質問です(原文:マイナス10℃に冷却した薬液に使えるバルブ)
マイナス10℃に冷却した薬液に使えるバルブはどこで手に入る?
このQ&Aのポイント
- 半導体製造装置に使用されるフッ酸等の混合液を-10℃に冷却し、処理槽に自動的に供給するための装置を依頼されましたが、この温度で使用できるバルブを見つけることができません。
- 装置の要件として、メタルフリーで構成されており、フッ素等の耐薬品樹脂製のバルブが必要です。
- マイナス10℃に冷却した薬液に使える適切なバルブについて知っている方がいらっしゃいましたら、教えていただけないでしょうか。
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noname#230359
回答No.2
noname#230359
回答No.1
Swagelok®の次世代PTFE®のバルブは、用途にかないませんか? 半導体製造ライン専用に開発された高価なバルブです。 バルブ・チューブ継手と言えば・・・と言われるほど有名なブランド(米国製)です. 一度、ご照会なされてみたらいかがでしょうか??
質問者
お礼
そのメーカーの継手はよく使っております。そのようなバルブを販売しているとは知りませんでした。調査不足でした。さっそくのご案内に感謝いたします。ありがとうございました。
お礼
さっそくのご回答感謝いたします。常温での回路はどうにかしてきましたが全く手がかりがなく困っておりました。ありがとうございました。