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MOSの作製工程では、アルカリ金属禁止？
「MOSの作製工程では、Na、Kのようなアルカリ金属が入るのを極端に嫌う」 と聞いたのですが、なぜなんでしょうか？
- secret-goo
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- 物理学
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こんにちは。 これらが入ると、シリコン基盤が基盤として機能しなくなる程電気を通すようになってしまい、機能しなくなるからです。
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「MOSの作製工程では、Na、Kのようなアルカリ金属が入るのを極端に嫌う」 と聞いたのですが、なぜなんでしょうか？
こんにちは。 これらが入ると、シリコン基盤が基盤として機能しなくなる程電気を通すようになってしまい、機能しなくなるからです。
お礼
なるほど、言われてみれば確かにそうですよね。 ありがとうございました。