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真空装置で、封止するためにOリングを使うVGタイプ
真空装置で、封止するためにOリングを使うVGタイプ、銅を使うCFタイプとでは何が違うんでしょうか。よく知ってる方、教えてください。
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基本は欲しい到達真空度で決めます。O-ringだと10^-7 Torrくらいなのに対し、コンフラットだと10^-9～10^-10 Torrくらいまで使えます。ベーキング温度もO-ringだとせいぜい110℃、コンフラットは300℃くらいまでいけます。代わりにコンフラットのメタルシールは基本は使い捨てです。O-ringは何度も使えます。コンフラットフランジのエッジの形状は複雑なのでフランジの製作費も高いですし、チャンバーの内壁の処理も高級な方法なので高いです。
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早い回答ありがとうございました！