タングステンの機械研磨

質問

試料はタングステンで樹脂に埋め込んで自動研磨機を用いて回転させながら湿式研磨を行っています

研磨紙で180番, 320番, 500番, 1000番, 2000番と研磨を行って
最後にダイアモンドスラリーで仕上げてます。

試料中央付近に砥粒や試料片が要因とは考えにくいサイズの凹凸が存在しています。

研磨に関しては初心者のため、研磨を上手くこなすための方法を教えて頂ければ幸いです。

回答No.2

hahaha8635

#2000 いきなり　ダイヤでは飛ばしすぎ
前工程の傷が残ってるんだと思う
磨き平面出しは熟練が必要

180番かける前に機械で頭はねてますか？

回答No.1

TIGANS

元半導体製造関係者で半導体ウェハ研磨経験者です。

質問文の情報が少なすぎるので何とも言えませんが
本来なら研磨サンプルのレジストリをシミュレーションかな。
研磨台とホルダが両回転して研磨するタイプの自動研磨機でしょうか？
まずは研磨台とホルダの回転比の関係を変更してみてください。