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窒化アルミの製造設備と加工方法とは?
- 窒化アルミ(ALN)の製造設備とはどのようなもので、どのようなプロセスで焼結されるのかについて、詳しく知りたいです。また、加工方法も知りたいですが、研削やラップ以外の切削方法はできないのでしょうか。
- 窒化アルミの製造に使用される設備やプロセスについて詳しく教えてください。また、窒化アルミは研削やラップ以外の方法で切削することはできないのでしょうか。加えて、どのような製造設備が使用されているのかも教えていただけると幸いです。
- 窒化アルミ(ALN)の製造設備と加工方法について詳しく教えてください。焼結はどのような設備やプロセスで行われるのでしょうか?また、窒化アルミは研削やラップ以外の切削方法を使用できないのでしょうか?製造設備についても教えてください。
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1:焼結はどの様な設備 ?金属アルミ粉を成型、窒素を反応させる方法→700℃の雰囲気炉 ?窒化アルミ粉から成型、焼結する方法→1700~2000℃の高温炉 ?の方が一般的なようで、昇温能力を有する炉。アルミナ焼成の1500℃程度と比較して高温。 メーカは上場会社から中小まであるので『高温炉』で検索してください。 2:加工 参考サイトの ■製品及び応用例 に工程フローの一部が載っています。 セラミックス製品一般に工程としてはパン焼き(煎餅か?)と似たような工程。この前には 原料反応、造粒、混練り がある。 ■プレス成形品 → 粒を押固める。(脆さに留意要だが機械加工も可能) ■シート成形品 → 有機物を練合わせてガム状のグリーンシートにして外形や穴をプレス抜き(パンチング加工)する。 上記までがナマ状態 → <焼結> ■表面研磨加工 → 焼成では歪みが出る。これを平面に仕上げ。 下手な焼成だと仕上げ厚1mmを得るに、2mm厚から削るような不経済も有り得る。(炉の検索で?ホットプレス炉?と出てくるのは焼成中に圧力をかけて歪みを押さえる) 機械としては『平面研削盤』『ラップ盤』など。 ■レーザー加工(強力光線で溶かして吹飛ばす穴あけ) ■機械加工 → 回答(2) ■メタライズ加工 → 配線材料の金属ペーストを印刷 これで、■用途にあるような基板が出来ます。 =回答(1)さんの京セラの方が工程図として整ってました=
>加工は研削、ラップ等で切削は不可、と認識していますがそれで >よろしいでしょうか? 一般論としてはその通りです。 マニアック?な手法としては、参考URLのような超音波振動を備えた 工作機械+ダイヤモンド電着工具orダイヤモンドコーティング工具によ る加工(研削&切削)も実用化されています。
http://www.kyocera.co.jp/fcworld/first/process.html 窒化アルミに特定したものではありませんが、ファインセラミックの 製造工程の概要とそれぞれの設備の写真が掲載されています。