超深度顕微鏡での測定

質問

超深度顕微鏡（レーザ顕微鏡）での幅・高さ計測を行なっているのですが、ノイズがひどく思うような計測が出来ません。　一応、フィルター処理は行っているのですが、３Ｄ形状（高低表示）するとノイズが完全除去できていません。　どのようにすればノイズレスな計測が出来るのでしょうか。
ちなみに使用機種はキーエンスのVK8500　　計測試料Cu　寸法は幅40μm間隔の６本線（線太さも40μｍ）、高さ40μmです。

回答No.2

noname#230359

測定ポイントに比べて　測定面の安定している面の大きさが十分に大きくなっていますか。
共焦点タイプなら最大光量を持って焦点としているはずですので。
一度、倍率を大きくして改善されないか試験してみてください。

回答No.1

noname#230359

一般に光学測定ではコントラストをあげることがたいせつです。
銅は波長の長い光の反射率がよく、赤色レーザーを用いた測定では問題が生じることがよくあります。
黒化処理などで全体の反射率を押さえたときにノイズが減るのであれば原因の決め手になりますので、一度試してみることをお勧めします。

お礼

大変参考になりました。
黒化処理を施しても良い試料である為、早速実行してみます。