シリコン基板の赤外透過について

質問

シリコンの基板上の膜の分析を行いたいと思っています。ＩＲを使っているのですが、全くピークが出ませんでした。シリコンは赤外線を透過する性質があると聞いたのですが、測定する上で何か工夫する必要があるのでしょうか？ちなみに膜の厚さは数百ナノ程度で、シリコン基板の厚さは2mm程度です。

回答No.1

leo-ultra

低抵抗のシリコン基板はキャリヤ吸収で赤外光（の一部）を透過しません。

どのくらいの抵抗率のウエハーですか？

数ｋΩcmのウエハーならばいいかと思います。