ガラス基板載せテーブル

質問

ガラス基板(400x500x0.5t程度)を載せるテーブルの材質・表面処理を検討しています。テーブルにガラス基板を真空吸着させ、その状態でガラス基板にテープ貼り付けを行ないます。テーブル面の平坦度が悪いと貼り付け作業中にガラスが損傷する恐れがあります。もちろんガラスに傷が付かないようにしたいです。何か適する材質・表面処理・コーティング等ないでしょうか？

回答No.2

noname#230359 · ベストアンサー

おはようございます。

吸着テーブルなら金属よりも樹脂系の方が良いんじゃないですか？

ジュラコンなら歪みも少ないですし、ガラス吸着には問題ないと思いますが。

どうしても金属とおっしゃるならアルミを硬質アルマイト処理した物が良いです。

テーブルの平坦度はそれほどうるさくなくても良いでしょ？
一般公差範囲でもOKだと思いますが。

取りあえずジュラコンもアルミも似たような目的で使った事がありますので実績はあります。

お礼

回答ありがとうございます。私はこの分野のことを良くまだ理解していないのですが、そこまで注意しなくてもいいようですね。参考にさせていただきます。

回答No.1

noname#230359

平行度を精密に仕上げる加工は当然の事とし、表面処理はレイデント処理とか、タフラム処理とかがあります。
表面処理する温度によって、熱変形も起こりますので熱変形しない加工方法も検討する必要があります。片面だけの加工ですと当然の如く反ってしまいますから。

お礼

回答ありがとうございます。長らくお礼できずに申し訳ありませんでした。