ターボポンプ(Varian社)のトラブルです。

質問

ターボポンプ(Varian社)をしばらく（２，３日）つけておいたら、ある日突然、TempOverという表示とともに止まっていました。その後、復帰しようとしても普段はちゃんと定格の70krpmまで回転数が上がるのですが、17krpmまでしかなりません。その後はエラーが全く出ないため何が原因で動かないのかわかりません。どうやらブレーキがかかっているような感じなのですが。詳しい方よろしくお願いします。

回答No.1

saityan · ベストアンサー

ターボ分子ポンプはあまり詳しくないのですが、参考にしてください。

１．まず、取り扱い説明書は手元にありますか？
２．あればトラブルシューティングを読んで同じような事例と解決方法を探してください。
これが最初のアクションです。

３．次にメーカー、代理店に電話連絡する。
これが次です。
休日だから電話はつながらないかな？

４．もし、同じ形式のコントローラー、ポンプがあって交換作業が出来るなら、それぞれ交換してポンプとコントローラーどちらに異常があるか、両方か見極める。

以上が通常、ユーザーで出来る対処です。

以下は私の想像ですが、軸に問題があって回転が上がってない可能性があります。（軸の構造にもよるが）
あまり無理に動作させようとするとポンプにとどめを刺すことになりかねないので辞めたほうがいいですよ。

回答No.3

triones

可能性として、背圧を引いている補助ポンプ（多分ロータリーポンプ？）の動作状況（配管のリークなんかも含めて）を検討してみてください。

回転があがらないのは、背圧の到達真空が悪いことも考えられます。

回答No.2

TEOS

私も　自信が無いので参考までに。
メーカーにより　作りが違うのも有るので。

現在の状況で、異音、異臭等の、普段の状態と違う事が
有りませんか？？

オイル有りか、ノンオイルポンプですかね。？

ブレーキが掛かっている感じがすると言うことは、
異音か、ターボ音がしてこないと言うことでしょうね。？？

明日　メーカーに　今の状況説明して下さい。

ターボフィンが　折れてるか　欠損してないですかね？　

参考までに