真空中の金属のアウトガスについて

質問

真空チャンバで圧力を0.5Paまで引きます。
この場合、SPHCやSUS303、SUS304でアウトガスは
発生するでしょうか。

また、この程度の真空度であれば、ベアリングは
グリスの交換程度で大丈夫でしょうか。

以上、よろしくお願いします。

回答No.1

Akira_Oji

0.5Pa程度の真空度では、ステンレスのような金属では、金属内からはガスの発生はないと思います。

ただ、加工上複雑なものやねじ穴などはガスの発生源になる場合がありますので、その場合はねじ穴の先端部にアクセスするような別の穴を作ってガスが簡単に逃げることができるようにするのがいいと思います。

ベアリングのグリスは高真空用のもの（HV用で十分。UHVのものは必要ない）を使用するのをお勧めします。

お礼

回答ありがとうございました。