ベストアンサー Ｓｉのドープ濃度 2009/03/06 20:26 Ｓｉのドープ濃度の決め方ですが ・ホール効果の測定 ・Ｒａｍａｎ測定 以外に何があるでしょうか？ どうぞよろしくお願いいたします。 みんなの回答 （2） 専門家の回答 質問者が選んだベストアンサー ベストアンサー sanori ベストアンサー率48% (5664/11798) 2009/03/06 23:04 回答No.2 こんばんは。 以下のような測定法があります。 １．四探針法 昔からあるポピュラーな測定法で、高濃度ドープされたシリコンのシート抵抗を測定します。 ２．ＳＩＭＳ ただし、検出の下限は １０^14 cm^3 ということらしいので、 濃度の測定となると、それより桁違いに高い濃度が対象となると思います。 ３．渦電流法 ウェハー１枚が表面から深部に至るまで一様にドープされているときに使える方法で、非接触で電気抵抗を測ります。 ４．Ｃ－Ｖ測定 接合容量を測定することによって、不純物濃度が求まります。 浅接合の場合、有力な測定法です。 以上、ご参考になりましたら。 質問者 お礼 2009/03/10 11:29 丁寧な御返事どうもありがとうございました。 いずれもサンプルへの接触が必要な方法であるよう思うのですが、 (つまり破壊的方法に分類されてしまう気がするのですが) 非接触な方法はないものでしょうか？ 再度ご教示、どうぞよろしくお願いいたします。 質問者 補足 2009/03/10 11:30 大変失礼いたしました。３が非接触ですね。 読みそこないました。 広告を見て全文表示する ログインすると、全ての回答が全文表示されます。 通報する ありがとう 0 その他の回答 (1) fufukffk ベストアンサー率6% (1/16) 2009/03/06 21:40 回答No.1 昔やってたのは、アニールして、二点尖端端子計測器で抵抗値を測ってました。 質問者 お礼 2009/03/10 11:30 ご教示、ありがとうございます。 広告を見て全文表示する ログインすると、全ての回答が全文表示されます。 通報する ありがとう 0 カテゴリ 学問・教育自然科学物理学 関連するQ&A 半導体へドープする不純物の濃度分布の制御について 現在、Si表面に窒素を不純物としてドープしようとしています。 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の式から、秒（時間ｓ）と波長λ（長さｍ）を定義しており、該定義に違反していると思いますが、そういう解釈（誤った定義をしている）でよいですか。 ・1967年、秒ｓをCs133の原子振動数（Micro波領域）で定義しています。 エタノール濃度の測定について こんばんわ。わからないことがあるのでよろしくお願いします。 エタノール濃度の測定についてなのですが、TOCを測定しそこからエタノール濃度に変換できないかを調べてますができるのでしょうか？ また、一般的なエタノール濃度の測定方法とはどういったものがあるのでしょうか？ お酒に含まれるアルコールはほとんどエタノールだと思うので測定法があると思うのですが・・・。 よろしくお願いします。 日本史の転換点？：赤穂浪士、池田屋事件、禁門の変に見る武士の忠義と正義 OKWAVE コラム 溶液の濃度測定 溶液の濃度の測定にはどのような測定方法があるか教えてください。 いろいろ調べた結果検量線を使う方法があるようなのですが、この場合濃度が既知の試料が必要になるようです。私がお聞きしたいことは濃度が既知の試料がないような場合についての溶液の濃度測定方法についてです。皆さんどうかよろしくお願いします。 有機溶剤の管理濃度と許容濃度の違い 教えて下さい。 有機溶剤の管理濃度と許容濃度の違いを知りたいのと、それらを測定する測定器を入手したいのですが、管理濃度って何ですか？許容濃度って何ですか？また、それらを測定する測定器はどこで購入又はレンタルできますか？有機溶剤の種類は、MEK、トルエン、酢酸エチル、イソプロピルアルコール等です。 ご回答宜しくお願いいたします。 フッ酸の濃度測定 フッ酸の濃度を測定したいのですが，簡単に測定する方法どなたか知りませんか？？ 濃度ｐｐｍオーダーなんですが，できそうな方法ご存知の方おしえてください。できたら連続測定したいです。 酸素濃度について 動脈血採血で測定した血中酸素濃度と、パルスオキシメーターで測定した血中酸素濃度の違いを教えてください。 母が肺疾患があり、普段パルスオキシメーターで測定しておりSpO2値が95以上ありますが、血液を採取して測定したところ、75でした。医師からは低いと言われましたが、酸素吸引を無理にすることはないと診断を受けました。 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大変失礼いたしました。３が非接触ですね。 読みそこないました。