Ｓｉのドープ濃度

質問

Ｓｉのドープ濃度の決め方ですが
・ホール効果の測定
・Ｒａｍａｎ測定
以外に何があるでしょうか？
どうぞよろしくお願いいたします。

回答No.2

sanori · ベストアンサー

こんばんは。

以下のような測定法があります。

１．四探針法
昔からあるポピュラーな測定法で、高濃度ドープされたシリコンのシート抵抗を測定します。

２．ＳＩＭＳ
ただし、検出の下限は　１０^14 cm^3　ということらしいので、
濃度の測定となると、それより桁違いに高い濃度が対象となると思います。

３．渦電流法
ウェハー１枚が表面から深部に至るまで一様にドープされているときに使える方法で、非接触で電気抵抗を測ります。

４．Ｃ－Ｖ測定
接合容量を測定することによって、不純物濃度が求まります。
浅接合の場合、有力な測定法です。

以上、ご参考になりましたら。

お礼

丁寧な御返事どうもありがとうございました。
いずれもサンプルへの接触が必要な方法であるよう思うのですが、
(つまり破壊的方法に分類されてしまう気がするのですが)
非接触な方法はないものでしょうか？
再度ご教示、どうぞよろしくお願いいたします。

補足

大変失礼いたしました。３が非接触ですね。
読みそこないました。

回答No.1

fufukffk

昔やってたのは、アニールして、二点尖端端子計測器で抵抗値を測ってました。

お礼

ご教示、ありがとうございます。