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気体（ガス）の漏れについて
ある容器の気体の漏れの検出の方法はいろいろありますが、それぞれの 関連性というか互換性がわかりません。 例えば、ヘリウムリークで5.0E-10Pa・m3/secでリーク反応がないと 確認された場合、その容器内に仮に半導体ガスPH3が充填されている場合は、漏れはないのでしょうか？ヘリウムの検査で各ガスの漏洩を換算する方法はどのようにすればよいのでしょうか？
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- TEOS
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ヘリウムリークの測定法が理解ができません。 減圧でリークテストしていると思うのですが、測定器の信頼度が 本当に有るのでしょうか。ヘリウムを噴霧して測定してる機械の仕組みが理解できない。そんな機械の信頼はＰＰＭより上の単位。？？？ 配管、ボンベをどう繋いでいるかお答え願いたい。 金属継ぎ手しか有り得ないが、実際はどうですか？ 高圧ガスの免許は持っているけど、特殊ガスは特別扱いですので。 知らないことが多い。 ボンベの充填規格とか・・・・・。 どの工程で、リーク検査してるか、書いてください。 ヘリウムと特殊ガスの漏洩換算は、判りません。 有毒ガスは、リークゼロで出荷しないとね。 航空便では運搬不能だし、陸路で送ると思いますが。 配管の継ぎ手に、リークを無しで組み立てるのは、ハイリスクです。 水素配管は、目にみえ無いけど、必ず少しはリークします。 耐圧ボンベだと思うけど、充填圧力はどの程度ですか？ ボンベの設計教えてくれないと リークのレベルが判らん？ 使用圧力の1.5倍で、実ガスを流してリークセンサーを信頼するのが 一番と考える。 リーク測定法自分で探しなさい！ これから実験を始めるレベルと思いますが、減圧弁もリークの原因。 私も、SiH4 Si2H6ぐらいしか使わないから。 何回も、爆発、自然発火は経験してます。 他の製品の副産物で、出てきてしまいます。 私が聞きたいことをまったく書かないから、返答は無理です。 先方メーカーが、素人なら、接続で大漏れでは無いですか？ 公的機関の特殊ガスの持込は、大きな制限が有ります。 商品を詰める前に 防災会議して協議なさい！！
- TEOS
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ちょっと聞かせてね。 自分で容器を組み立てて、ヘリウムでボンベ（容器）を真空引きをして、ゲージの変化でリークを見たと解釈してよいですか？ 加圧して、リークテストはしないですか？ 参考までに、ボンベの種類は、アメリカ製、日本製。 接続配管金具は、どの形式ですか？ 私はリークゼロまで、チェックしますけど？ ＰＨ３は、自然発火ガスで、危険性が高いと思います。 ガスの充填は、誰がやるんでしょうね？？ 製造メーカーですか？ こちらのボンベと、先方の充填装置が 金具の形式が違うと、困りますよね、？ お互い、ＶＣＲとかね。合わせないと・・・・・ あなたが、ＰＨ３を使う時は、どのように装置に接続して流すの？ ヘリウム使うのは、ボンベ内の置換のしやすさとリークチェックで 漏れやすいから、本番での充填ミスが防げるから？？ 配管やバルブの種類も教えてください。 同じも形状でも、メーカーが違うと、接続がリ－ク起きやすいので ご用心を・・・・ 私も年間で、充填容器を、バラして、洗って組んで リークを見る仕事 年100個してましたので、ヘリウムリークは、加圧でも確認してました 製品入れて漏れたら、自分が死にますからね。 責任が・・ 又詳細ください。
極端に「常識的な」話をすれば、拡散係数で補正して上げて下さい。 もちろん腐食などは問題外。
お礼
doc_sundayさん、ご回答有難うございます。 “拡散係数”・・・初めて聞いた言葉で、いろいろネットで調べましたが難しいですね。 稚拙な質問ですが、上記のオーダーのリークレートの場合、その容器から精密に言うとＨ２やＰＨ３などは漏れているという理解でよろしいのでしょうか？（人体に影響のない許容濃度以下）
お礼
TEOSさん、ご回答有難うございます。 自分の聞きたい事がうまく伝えられなくて文才がないのですみません。 うまく伝えられるか心配ですが、ヘリウムリーク検査でリークディテクターで配管や容器などなどを検査しています。 検査レートは1.0E-11Pa・m3/sec以下でリークレート値が安定したところでヘリウムを噴霧して検査してます。 仰られるように、加圧（窒素）の検査もありますし、それに関しても 同じ意味合いで分からないところがあるのですが・・・。 上記のレートでＯＫとなった配管等にはＡｓＨ３やＰＨ３などの許容濃度が極めて低いガスが流れます。 例えば、ヘリウム検査で仮に3.5E-11のオーダーでＯＫになった場合 と3.5E-8でＯＫになった場合と実際のガスに対してどういう根拠で 数値の整合性が取られているのかを知りたいのです。 数値の意味する根拠を知りたいのです。 ガスは極めて小さいので、11乗台のオーダーの容器内からは実際の 所、ガスが漏れてしまうのか・・・、それとも極めて小さな漏れで 漏れていても、そのオーダーの数値で検査されている容器は許容濃度 以下しか漏れないとか、またまた、そのオーダーの数値だとガス自体が 漏れることがない（容器の通気孔＜ガス分子の大きさ）とか。 アルシンの許容濃度は0.05ＰＰＭと言われていますが、そうすると ８乗台以下つまり９乗台で検査すれば良いのではないのかなど考えてしまいます。 ちょっとまとまっていませんが、よろしくお願いします。