薄膜状の酸化物の状態分析の方法

質問

X線光電子分光装置とオージェ分光装置がある場合、金属表面に析出した薄膜状の酸化物の状態を分析するには、どちらが適切ですか？
理由も簡単に教えていただけるとありがたいです。

回答No.1

UBS69 · ベストアンサー

私の知る範疇でお答えします。XPSはX線を照射しますのでmmオーダーの測定領域における平均的情報が得られることになります。対してオージェは電子線の照射を用いますのでマイクロオーダーの測定領域となります。お問い合わせの試料表面が比較的均一とみなせる(マクロ的）な場合はXPSによる測定で概略をつかむことができますが、局所的な変異状態や特質的な部位を含む場合にはオージェの局所分析を併用すべきかと思います。状態観察にはXPSのケミカルシフト観察が有効と思いますが正確なエネルギー補正や基準、信用のできるデータベースが必要になります。
表面分析を行う場合、測定装置の特質を十分把握することが非常に重要と考えますのでXPS、オージェに限らず可能な限り多角的な情報（TEM.FIB.AFM.SEMなど）により評価、解析すると面白い結果がでるかも？。ご参考まで。

お礼

ありがとうございます．
先に言うべきでしたが，これは技術士一次試験の択一問題から抜粋した質問でした．五択問題で，正しいものを選ぶのですが，その中で，金属表面に析出した薄膜状の酸化物の状態分析にはオージェが適している，というものと，XPSが適している，という文章があるのです．どちらかが正解だと思うのですが，どちらも正解なのではないかと思い質問させて頂きました．ご返答の内容からも，やはりどちらかが勝っているという感じではなさそうですね？．私もいろいろ調べてどちらも適しているのではと，思っていましたので，問題がおかしいような気がします？
いずれにせよ，実際に分析をする場合には，UBS69さんが言うように，多角的に分析するのが正解なんですね．
ありがとうございました．

補足

ポイント遅くなりましたすみません。
ありがとうございました。