真空

質問

真空中で使用できる粘着テープをご存知の方いらっしゃいましたら、教えてください。

真空中で市販されているビニールテープでは、粘着剤が気化してしまい、高い真空度が出せなかったのです。

よろしくお願いいたします。

回答No.2

boo000

スパッタ装置で、耐熱性のあるポリイミドテープはよく使います。
クライオで引いて、E-6行く感じです。

超高真空では、試したことありません。

回答No.1

TEOS

参考までに、粘着剤は何の為に使っているのですか？
粘着剤が気化して、高真空が出ないという意味が理解できない？？
どんな真空装置で、　どのレベルの真空度ですか？？
１０のマイナス５乗くらいのレベル？
粘着テープを使わず　超音波接合　接着剤は使わないの？