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X線反射率法(XRR)はなぜフィルムの密度がわかるのですか?

X線反射率法(XRR)でフォルムの密度が測定できる理由を教えてください。フォイルの厚さが測定できる理由はブラグの回折条件から推測できるのですが。。。。 よろしくおねがいします。

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回答No.1

専門ではないので、原理的な説明は出来ませんが、参考までに。 X線反射率測定のデータチャートからは以下のようなデータを読み取る事ができます。 振動周期→膜厚 減衰勾配→表面ラフネス 臨界角→密度。 全反射領域から減衰が始まる角度を臨界角と言いますが、この臨界角は物質の組成と密度によって決まります、物質の組成が解っていれば密度が求まる事になります。 色々調べましたら、こののサイトが見つかりましたので参考に。 ご質問が、どうして密度が変わると臨界角が変わるのか、の物理的な説明でしたら回答になっていませんが。

参考URL:
http://www.nsg-ntr.com/TIME/xrd-01.htm

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