ＳＵＳ３０４とＳＵＳ３１６の焼付き防止の表面処理…

質問

ＳＵＳ３０４とＳＵＳ３１６の焼付き防止の表面処理について

半導体・液晶用の製造装置メーカです。Ｍ７６でピッチ２のネジの焼付きが多発して困っております。このような業界で使用し、純水等が触れる可能性があるため、グリス等は使用できません。表面処理で解決したいのですが、良い表面処理はありませんでしょうか？

回答No.2

noname#230359

表面処理業のものです。ご要求に合っているかどうか分かりませんが、半導体・液晶用途の真空装置のボルト・ネジ類に表面処理を使って頂いております。SUSボルトの焼き付きを防止する目的ですが、弊社実績の場合は、その焼き付きの根本原因は腐食（F・Cl）です。
詳細＝hiyama@tocalo.co.jpへご照会下さい。

お礼

早速のご回答ありがとうございます。大変参考になりました。

回答No.1

noname#230359

ジェイネットのHPのFine Metalicity工法が役立つかもしれません。参考までに見てみてはいかがでしょうか。

参考URL：

http://www.jng.co.jp

お礼

ありがとうございます。今回の問題だけでなく、他の用途でも使用できそうです。