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真空グリース(シリコーングリース)に関して

真空グリースを接着剤として真空チャンバ内で使用しようと考えているのですが,このときグリースが表面に塗られているとすると,このグリースは接着剤(小さいものを固定するための土台)として機能するでしょうか?正直真空グリースがどういうものか良くわかっていないのですが,よろしければお答え下さい.よろしくお願いします.

みんなの回答

noname#160321
noname#160321
回答No.3

古い話で申し訳ありませんが、アピエゾングリースなんかですとベタベタです。糸まで引きます。 最近はOリングを使いますのであまり使わなくなりましたね。

noname#42083
noname#42083
回答No.2

チャンバー内で、油脂類が使用できないケースの真空グリースは、 大気に放置すると水が出てきます。(アルバック製) チャンバー等のOリングなどに基材は残りますが、指でさわると サラサラしています。 小さな紙ぐらいしか付かない感じです。 Siウエハーや液晶用ガラスなら圧着すれば付きそうです。 私も仮り止めなら、テフロンテープや耐熱テープが良いとおもいますが、テープの切断面より、やはり糊は飛び出ます。

  • esezou
  • ベストアンサー率37% (437/1154)
回答No.1

sawsaw33さん、こんにちは。 整髪のハードジェルくらいの堅さでしょうか、もっと堅いか。 消しゴム片くらいなら付くかも知れません。 接着剤というより、できの悪い粘着剤が近いです。 また、常圧に戻すときの風(?)で飛んでいくかも。 真空度にも拠りますが、蒸発しないわけではないので、その影響も心配です。 変にぴたっと付けると、真空接着(分子間力)してしまうかもしれません。 私なら銀ペースト(ぽろっと取れる微量)かテフロンやポリイミドテープを使うかな。

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