AFMを用いたリソグラフィ

質問

AFMを用いたリソグラフィがあると聞きました。電子線を使うらしいのですがどのような原理なのか教えてください。

回答No.2

bipolaron · ベストアンサー

AFMやSTMの描画方法にもいっぱいありますが、AFMではカンチレバー（針のように先がとがったもの）でがりがりとこする以外には導電性カンチレバーによる電流注入なるもの　も、あります。それをリソグラフィーまでに発展させたものとしては、下記HPにあります名古屋大の方のとかが有名です。（AMFリソグラフィーとはAFMなどで描画した基板を更にエッチング等の処理を進めることで基板のパターニングをするものだとの定義をすると）この場合、基板表面自体が、その程度の電流注入で劣化したり変化するようなフォトマスク（彼らは有機分子を使っている）を使う必要があります。
実際電子線をAFMと組み合わせて使うというのはいまのところ私は知らないです。電子線というのは真空中をビームの様に飛んでくる電子線のことでしょうか？もしだとしたらAFMと組み合わせるのはかなり困難かなあとおもうのですが・・・？電子線でのリソグラフィーなら既にあります。通常マスクで隠したパターン全体に光を露光するリソに対し、電子ビームで描画していくものです。電子ビームを細く絞ると１０nm近くの解像度をもつリソグラフィーも可能になっているようです。
この二つを組み合わせるとすると・・・・もしかすると二段階に分かれているのかも知れません。同時にはちょっと出来ないのでは？？
あと下の方の回答にコメント。基本的にSNOM－AFMはかなり特殊なAFMであって、普通のAFMの動作原理とは異なります。最近の非接触AFMなら原子レベルの像も簡単に得られます。AFMの装置自体、本当にたくさんの応用が成されており、その動作メカニズムについても幾つもあります。

参考URL：

http://www.jsap.or.jp/ap/2001/ob7010/p701182.html

回答No.3

bipolaron

応用物理学会誌の　Vol.70　No10（2001）がSPM特集号でとても面白いので見てみてください。先述のHPの名古屋大の先生の研究が日本語でのっています。

お礼

大変遅くなってしまいましたがありがとうございます。
応用物理学会誌の　Vol.70　No10大変役に立ちました。

回答No.1

may-may-jp

走査型原子間力顕微鏡（AFM）なら、使ったことがあります。
確か、先端から励起光を照射して、その干渉具合でかなり鮮明な（分子レベルの）画像が得られると言うものだったと思いますが・・・。これだと空気中で乾燥しやすい生物細胞の表面形状なども液体の中で計測できる（→付随していろいろなことがわかる）ので、最近は生物系・医学系でよく使われてますよね。

日本原子力研究所のページ↓なんていかがでしょう。
http://www.jaeri.go.jp/open/press/2002/020313/index.html

あと、原子間力顕微鏡について説明した本もあるようですので、図書館で借りるなり、購入するなりしてみてはいかがでしょうか・・・。
http://chuo.netbank.co.jp/kocho/mybooks/ISBN4-7693-1138-9.htm

研究論文もいろいろ出ていますよ（私が読んだのは全部英語でしたけど・・・）。医学系や、生体工学系など当たってみては？gooなどでも、日本語でキーワードを入れるとたくさんhitします。

とりあえず、自信なしで。

参考URL：

http://www.jaeri.go.jp/open/press/2002/020313/index.html