AFM、SEM、TEMについて

質問

AFM、SEM、TEMについて、その違いを教えてください。

また、そのことについてよく書いてある、本やWEBがあれば教えてください。

回答No.2

polymer1

簡単に書きます。
ＡＦＭ：カンチレバーで接触ないしは、接触に近い方法で走査しながら観察する装置。
ＳＥＭ：電子線を当て、その反射を読み取る。
ＴＥＭ：電子線を透過させて透け具合で観察する。

詳しくは、メーカーや分析センターのホームページから確認されては如何でしょうか？
代表的な装置メーカーは、次を参照ください。
ＡＦＭ：島津製作所、ＳＩＩ　等
ＳＥＭ、ＴＥＭ：ＪＥＯＬ（日本電子）、日立ハイテク　等

回答No.1

Tacosan

wikipedia じゃダメ?