大気圧プラズマとは何ですか？

質問

プラズマの世界で大気圧プラズマと言う新しい技術があると聞き、学校の図書館に行ったのですが大気圧プラズマに関する本がありませんでした。原理や実態など簡単な説明でも良いので教えてください。

回答No.1

chiezo2005 · ベストアンサー

普通半導体製造業などではプラズマを成膜，加工に良く使いますが，通常は減圧中で行います。
これに対して，常圧（大気圧）でプラズマを発生させてこのような処理を行うものを大気圧プラズマと呼んでいます。
特にクリーニングなどでよく使われています。
また最近では酸化物，窒化物の成膜にも応用されつつあります。
大気圧で行えるため，真空チャンバーの必要がないので，大きなサイズのものの加工に有効な手法です。
http://www.naisweb.com/j/pcfaj/aip_jpn/aip_jpn_01/idaabss.html