SEMIスタンダード G52-90

質問

半導体国際工業規格（SEMIスタンダード）が有りますが、この中でG52-90の項目で内容が分かりません。イオン分析に関わる内容と思いますが、詳しく知りたい。例えば、どのような分析機器を使用し、どのような単位になるのか等、
ご教授お願いします。

回答No.2

noname#230359 · ベストアンサー

何処に何が付着しているかは、
　　http://www.natc.co.jp/detail/result/result1.html
XPS などＸ線を用いた定性分析手法で、試験立会いすると直ぐ結果が出るほど簡単ながら、

　　G52-90　半導体リードフレームのイオン汚染物の測定のための標準測定法

なので定量分析です。
この規格について特許文献に断片的な記述がありました。

　　http://www.j-tokkyo.com/2000/D21H/JP2000-154492.shtml
　脱イオン水に浸漬し、９５℃で３０分間抽出を行う。ここで脱イオン水とは、抵抗値が１５ＫΩ・ｃｍ（２５℃）以上のものと定義される。
　抽出イオンの測定はイオンクロマトグラフを用いて行うが、本発明で使用した装置は、ＩＣ５００Ｐ（横河電気（株）製）である。また、カチオン標準液用化合物としては、ＮａＣｌ、ＮＨ４Ｃｌ及び、ＫＣｌを用い、アニオン標準液用化合物としては、ＮａＣｌ、Ｎａ２ＨＰＯ４・１２Ｈ２Ｏ、ＮａＢｒ、ＮａＮＯ３、及びＫ２ＳＯ４を用いた。

感覚的には判るかと思います。水に漬けて抽出して量を測る手法で、時間は掛かるはず。

お礼

細かな情報、有難う御座います。
塩化物換算で50 ng/cm²、イオノグラフかイオンクロマトかどちらを
選択すべきか等不明でした。
参考になりました。

回答No.1

noname#230359

大変失礼な記述をしますが、“SEMI G52-90”の規格資料を高価であっても購入し、
確認することをお勧めします。
また、大きな図書館では(特に、半導体工場が乱立している神奈川県の南武沿線付近)
“SEMI G52-90”の規格資料を保有していますので貴殿でも調べてみてください。

> イオン分析に関わる内容と思いますが、詳しく知りたい。例えば、どのような分析機器を
> 使用し、どのような単位になるのか等、ご教授お願いします。
分析機器メーカーの調べ方の一例をURLに記述しますので、参考にして貴殿でも調べて
みてください。

分析を依頼している企業も多々あります。

そこからの情報に基づいた情報での資料作成がベターと思います。

ですから、＊＊分析センターに検査依頼の見積と情報提供を受けたら如何でしょうか？

参考URL：

http://www.klnet.pref.kanagawa.jp/kawasaki/search/standard/semi_jpn.htm http://www.google.co.jp/search?q=%E5%8D%8A%E5%B0

お礼

有難う御座います。
参考内容等確認させて頂きます。
詳しく添付頂き有難う御座いました。