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※ ChatGPTを利用し、要約された質問です(原文:SEMI規格に基づく部品図について)

SEMI規格の部品図について

このQ&Aのポイント
  • 半導体製造に関わる部品図について、ノッチ(切り欠き)が存在し、その形状はSEMI規格とされています。
  • ネットで検索してもSEMI規格での形状に関する情報は見つけられませんでした。
  • 詳細な情報は顧客からは得られないため、どういう意味なのか確認することは難しいです。

みんなの回答

noname#230359
noname#230359
回答No.1

私も詳細は知りませんが、まずはテュフに問い合わせてみてはどうでしょうか?

参考URL:
http://www.tuv.com/jp/semi_s2_s8_for_semiconductor_manufacturing_equipment_.html

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