真空リークチェックでのSF6利用について

2008/02/21 13:23

このQ&Aのポイント

SF6ガスを使用した真空リークチェックが一般的に利用されていますが、環境への影響が心配されます。
企業は極微量ガスレベルのSF6利用に対する回収処置を実施しているのか疑問です。
SF6ガスの環境への悪影響を考慮し、より環境に優しい方法の検討が求められます。

noname#230358

測定・分析
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noname#230359

2008/02/22 10:00 回答No.1

SF6を使ったリーク検査初めて知りました。SF6の分子は大きくて重いと思いますがその性質を利用しての検査なのでしょうか？通常はHeを充填してヘリウムリークディテクターで検査という認識でした。Heなら大気に放出しても環境には問題ありません。お勉強がてらに調べたらHCFC等冷媒の漏れ検査にハロゲンリークディテクターというのがありますね。でもヘリウムリークディテクターよりも漏れ検出量の桁が2桁以上低いみたい。･･･3番目のURL リークディテクターの検出ガスとしてCFCやSF6をチャンバーに入れてリーク量検出するというよりは、こういう温暖化係数の高いガスを使っている機器の検査をするための機器という印象を受けました。ですから真空槽のリークを測りたいだけならHeリークディテクターのほうが感度も高いし向いているのでは?　ただHeリークディテクターは高価なのが難ですが。 http://www.inficon.jp/leak/005.html http://www.aimscorp.jp/jp/line/leak/halogen/008XR.html http://www.klchem.co.jp/blog/2007/08/post_477.html http://www.packjapan.net/p04-16sokugas.htm 空気中の微量なSF6を回収する特許もでていますね http://www.j-tokkyo.com/2003/B01D/JP2003-103134.shtml