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小さいごみの発生源を確認する方法
- ある機械を作動させると小さいごみが発生しています。しかし、ブラックライトではごみを確認することができません。このような場合、目で見ることができる方法を教えてください。
- 目で確認できないサイズの小さいごみの発生源を探しています。ブラックライトではごみを見つけることができません。どのような方法がありますか？
- 目視では確認できないサイズのごみの発生源について質問です。ブラックライトではごみを確認できません。どのような方法を使えば見つけることができますか？
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似たような経験がありますが、私も １．各可動部を単独で動作させて測定。 ２．測定器のプローブを可動部にできるだけ近接させる。 が良いと思います。 さらに単独動作速度を変更して測定出来るのでしたら、ある程度限定出来るのでは無いでしょうか？ どのような機械構造か判断できませんが、 接触式の回転要素、直動要素あたりからは必ず発生していると疑って良いと思います。潤滑剤を低発塵性に変更するだけで０.５マイクロ程度のごみはかなり低減するのでは？
微粒子測定器で測定済みなのですね。了解。 場所の特定と言う事になると、実際の機械にもよるので、いい助言ができるかどうか不安ですが、私の場合、先に書いた方法以外では 1.各可動部を単独で動作させて測定。 2.測定器のプローブを可動部にできるだけ近接させる。 3.清浄な物体（洗浄済みのSiウエハとか）を機械の傍に置いて、機械を稼動させる。物体の上に載ったゴミをSEMで観察、分析する。 というところでしょうか。 レーザ光なら浮遊微粒子を観測できる可能性はあります。（微粒子測定器も検出にはレーザ使ってますし）試しに、レーザの測距機などを当ててみれば、何か見えるかもしれません。
「0.5ミクロン程度の大きさ」をどのようにして認識されたのか不思議ですが、微粒子計測器を使う方法があります。ただし、機械の使用環境が、その機械から発生しているゴミよりも汚いと役に立ちませんが。（そもそも、そのようなそのような環境で、0.5ミクロンのゴミが問題にならないでしょうが） レンタルもされています。 光を使って目視することも可能ですが、ある程度発塵箇所がわかっていないと、光を当てる場所すら特定出来ないので、発見は難しいのでは？ 機械からの発塵であれば、可動部に限定できると思います。普通、0.5ミクロン程度の微粒子だけが、機械から発生する可能性は低く、目視可能なゴミも同時に発生している場合もあります。 まず最初に、アルコールで濡らしたウエスなどで可動部付近を拭き取って、そこにゴミが付着していないかどうかで、発塵を判断してみる事をお勧めします。 一応、微粒子計測器のメーカのURLを書いておきます。
強い光を観察者と９０度の方向から（横から）当てて 観察してみてください。光を直接見えないようにするのがコツです。金属のような光沢のあるものでも光を当てる方向によっては見やすくなります。
お礼
ありがとうございます。やはり、光源も絞ったほうが良いのでしょうね。やってみます。
補足
説明不足で申し訳ありません。 上記問題は、すでに微粒子測定器で調査した後です。微粒子測定器では発生源の大まかな位置は確認できるのですが詳細位置までは特定に至りませんでした。