測定顕微鏡の校正について

質問

社内にて測定顕微鏡と万能投影機の校正を行うことを検討しておりますが、
どのような基準スケールが必要でどのような方法で行うのか、また判定
基準をどのようにすべきか悩んでおります。

ミツトヨなどで販売している、ガラス製の基準スケールで目盛の中点を
測定し、スケールの目盛と実測値との差異でＸ-Ｙ方向の誤差を測定
しようと考えております。
（＊規格はＸ-Ｙ各誤差　３＋（Ｌ/５０）μm以内がメーカー規格）

そこで質問です。
?上記の確認方法は妥当でしょうか？またこれ以外に校正の差異に必要と
　なるポイントとは何でしょうか？
?ガラス製の基準スケールの精度・目盛線の幅・目盛線の間隔などはどの
　程度のものを使用するのが妥当なのでしょうか。
?基準十字スケールとはどのようなものでどのように使用するものなので
　しょうか。
?十字線入ミラーとはどのようなもので何に使用するのでしょうか。

いろいろと投げかけておりまして申し訳ありませんが、ご存知の方が
いらっしゃいましたら教えて下さい。

回答No.2

noname#230359 · ベストアンサー

基準スケールはこの種標準機としては安い。
測定顕微鏡について私はブロックゲージを、少し段差を設けて組み付けしたものを使ってました。
その拡張版とみれるチエックマスタなら他にも使えて尚良だが、高価なのと大きさが過ぎるかもしれない（ミツトヨのカタログにあり）。

万能投影機について記憶が薄れて、、、測定顕微鏡より十字線合わせでの視差が大きい。方法は妥当でもこの問題がありそうですね。

それとこれについては像全面の歪み誤差が規定されているはずで、担当者がその方法を問い合わせていたが、、、

お礼

チェックマスタについて調べてみました参考になります。
ブロックゲージを使用して顕微鏡・投影機の両方を実際試してみますね。
歪み誤差というのは知りませんでした。ちょっと調べてみます。
度々のアドバイスありがとうございました。

回答No.1

noname#230359

おそらく、経験に則ったアドバイスやメーカの有益なサイトを、
ベテランのエンジニアの方が回答してくれると思いますが、
最終的にはお持ちの測定器メーカやミツトヨさんにご自身で
ご相談された方が良いと考えます。

お礼

アドバイスありがとう御座います。
従来は測定顕微鏡、投影機などは測定器メーカーで校正をお願いして
おりましたが、このご時勢もあり費用がかさむために社内校正を検討
しておりました。
ですので聞きずらい面もありまして質問に登録いたしました。
確かに、自主校正が可能であるか否かメーカーに相談はしておりません。
改めてメーカーにも確認してみます。