レーザー顕微鏡の測定誤差

質問

いつもお世話になっております。
現在レーザー顕微鏡(SENSOFAR製)で深さ35μm，ピッチ80μmのネジ山形状のようなサンプルを測っています。
それなりの測定精度が欲しいのですが、同じ箇所で繰り返し測定するだけでも最大2μm以上の測定バラツキが生じます。
これはレーザー顕微鏡の特性上いたし方ないものなのでしょうか？
それともその装置自体に問題があるのでは？
よその部署の借り物なので、自分でメーカーに問い合わせたりする事ができないのが悩みです。
自分的には±0.2μm程度におさまっててくれないと測定DATAの意味がないのです。

回答No.1

noname#230359

非接触方測定の問題点の１つです。
非測定物の面粗度はいかがですか、測定器の分解能以下の面粗度であれば測定の繰り返し時に面粗成分を測り込み測定差となる場合があります。
寸法測定においては面粗分を測定値に上乗せしないと接触型の測定値に合致しないことがあります。外形であれば面粗分をプラス、穴径であれば面粗分マイナスします。
非接触の寸法測定における測定値は面粗度が測定値に関与することを留意なさって実行する必要があります。
持論ですが、１μの測定値の正確さを要求するのであれば面粗度は1s以内でなければ安定した測定値は出来ないということです。

お礼

ご回答ありがとうございます。
表面粗度に関しては使用規格内ではあるのですが、形状を測定するとネジの谷の部分がデータ抜けする部分もあります。これはどうも谷の部分では光が完全に返ってこないのが原因らしいです。
レーザ顕微鏡での測定精度の限界なのですかね・・・