XYステージ

質問

現在社内にて1μm精度のXY電動ステージの製作を目指しておりますが、これは市場的には技術・価格の面から見てどのくらいのレベルになるのでしょうか？

回答No.3

noname#230359

御質問の内容だけですと、どのレベル（サイズ・精度保証）なのか判らず絞れません。
新しいものを開発するときは、まず市場調査・特許調査から入ります。これが、新規開発での重要なポイントになります。ここで間違えるとせっかく良いものを開発しても世の中に認めて貰えないものが出来てしまいます。
まさに、自分がそのような状況になっていますのでしっかり時間を作って調査されたほうが良いと思います。

回答No.2

noname#230359

精度についてですが、真直度・繰り返しの再現性・位置決め精度・繰り返し位置決め精度などなり、どの精度を指しておられるのでしょうか。また、精度とストロ-クの関係にもよると思われます。　また、どのマ-ケットを睨んでいるかにもよります。

真直度　1ミクロンでストロ-クの±50ｍｍ以下で半導体・光学関係であれば現状の市場にあると思われます。±0.5ミクロン位の要求でしょう
コストですが、案内面の構成要素があからないのでエア－から・軸受けを選択するにもよります。
また、位置決めはスケ-ルフィ－ドバックはどうされるのかにより価格帯は広いです。

100万円300万円位でないでしょうか

真直度だけでしたら　テ-ブルメ－カ－から市販しているレベルですので価格を問い合わせてみればいかがでしょうか

また、ウェハ－露光装置などであればスト-ロ-ク最低でも±150ｍｍは必要によると思います。

回答No.1

noname#230359

価格は大きさや使用目的によると思います。

画像測定用であればある程度ニーズはあると思いますが、透過照明に対応できるか、直角度を含めた２軸精度が必要になります。
半導体検査装置向けを考えるのならウエハーの直径以上のストロークは最低限必要です。