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※ ChatGPTを利用し、要約された質問です(原文:位置きめ精度)
位置きめ精度の問題を解決する方法
このQ&Aのポイント
- 位置きめ精度の問題を解決するためには、指示精度の改善が重要です。指示精度が約200mm間隔で周期的な変動を持ってしまっている場合、その原因を特定し、修正する必要があります。
- 一つの手法として、レーザー干渉計との差を1mm間隔で測り、それを補正してステージを動かす方法があります。この方法により、指示精度の改善が期待できます。
- 同様の問題を経験した方には、指示精度の改善に成功した方法や、問題の原因となった要素の特定方法について情報を共有してもらうことが有益です。他の方の経験を参考にして、問題を解決することができるかもしれません。
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noname#230359
回答No.4
noname#230359
回答No.3
noname#230359
回答No.2
noname#230359
回答No.1
お礼
回答ありがとうございます。 説明が足りませんでした。 ステージの構成はLMガイド+リニアモータ、リニアスケール です。 精度のずれが、同じプロファイルで何度む繰り返されています。