超精密Ｚ軸ステージ

質問

いつも参考にさせていただいています
Ｚ軸ステージにおいて、繰り返し精度、面の真直度、平面のアライメント総合的に、輪郭度スペック±0.003mmが可能なＺ軸ステージを探していますが、規格品でも、特注品でも構いませんがどなたかご教授お願いいたします。

回答No.1

noname#230359

ibuki様の質問の内容を分解すると、

１）Ｚ軸ステージ単体のスペック
２）Ｚ軸に付属した平面部のスペック

が混在しているような気がします。

より適確なアドバイスするために、次のような情報があれば、うれしいです。

１）ワーク形状（おおまかな寸法）と重さ
２）アライメント動作概要
３）動作環境と制御手段

答えられる範囲内で良いです。
よろしくお願いします。

補足

早速のご検討ありがとうございます。
質問項目に対しての回答としてお答えいたします（満足いく回答にならないかもしれませんが）
?Z軸ステージ単体のスペック：0.005mm
?Z軸に載置した部品の真直度：0.001mm
?ワーク形状：W2×L350×30H（Z軸ステージ取り付け部は形状の自由度有り）
W2部についてはZ軸ステージ取り付け部との調整可
?アライメント動作：Z軸ステージの載置部品面のアライメントが0.003mm
?動作環境：クリーンルーム（クラス：1000）
?制御手段：PC制御を想定（このかぎりでない）
以上回答させていただきますが十分条件でないかわかりませんがご検討宜しくお願いいたします。