薄膜プローブ

質問

半導体業界では、プローブはウエハ上のチップの検査を行うために使用する試験道具と理解してます。プローブは探針と理解してます。
しかし、"薄膜プローブ"とは一体どの様なものなのでしょうか？プローブが薄膜になっているからでしょうか？
是非教えてください。

回答No.1

noname#230359

どんな状況で使用されるプローブなのかわかりませんので、これが絶対とは言えませんが、一般的な薄膜プローブは、磁気力を検出するためのニッケル薄膜を用いた三角形型板バネ形状の導電性探針のことをさします。この場合の使われ方は、薄膜プローブ自体が、試料のz軸方向（試料面に垂直方向）の磁界に感度が高いために、プローブは試料からの漏洩磁界と磁気的相互作用の結果として引力あるいは斥力を受け、プローブの板バネは、試料表面に近接したり、あるいは、遠ざかるような撓みの変動を示し、結果的にトンネル電流が、プローブ先端部と試料間の距離に応じて、変化します。このトンネル電流を一定にするようにZ軸ピエゾにフィードバック制御を行いますと、このz軸フィ－ドバック信号を基にMFM像が得られます。一般的な使い方は上記のような形ですが、他にも使われ方があるのかもしれません。

お礼

Hiroace様
返答ありがとうございます。
http://www.arco.com.tw/semicon/industry/2002/jebi81/p03.html
上記サイトで見つけました。
とにかく薄膜プローブは一体基本的に何なのかを知りたくて検索しましたが、上記サイトは、基本的な答えでなく、機能的な説明がありました。
しかし、写真を見ると左下の薄い配線のようなものがあります。薄膜の探針のようなものですね。
これが薄膜プローブで、この探針が、プローブというものでしょうか？
ややこしくてスミマセン。お時間がありましたら、教えてください。
宜しくお願いします。