半導体ウエハーフレームのテープ残り

質問

半導体ウエハーフレームに使用する、ウエハーテープの粘着残りを除去する良い方法、ご存知ないでしょうか？

回答No.2

noname#230359

もしよろしければ、ドライアイスブラストでの試験承ります。

参考URL：

http://www.ctktv.ne.jp/~s-nomura/public.htm

回答No.1

noname#230359

ドライアイスブラストなんか如何ですか？
ちなみに、フレームの素材は何ですか？

参考URL：

http://www.ctktv.ne.jp/~s-nomura/public.htm

補足

アドバイスありがとうございます。
材質はSUS420J2です。
カニゼンメッキされているものもあります。