プローブでの低温検査に関して

2011/02/02 22:44

このQ&Aのポイント

マイナス数十度でのプローブ使用時に結露や氷が発生し、接触不良が起こる問題があります。
先端形状変更と荷重増加以外に、低温検査時の接触不良を解決する方法はありますか？
検査環境の改善も考慮しつつ、プローブの接触不良問題の解決策を教えてください。

noname#230358

その他（品質管理）
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noname#230359

2011/02/03 04:15 回答No.1

自作の低温ステージでしょうか？結露が発生する場合には (1)BOXを使用して外気の流入を防ぐ (2)低露点ドライエアー発生器で生成した、　露点が測定温度以下のドライエアーでエアフローを作るが必要です。使用頻度が低い場合にはドライエアーは、超高純度の空気高圧ボンベから供給したり外気を乾燥剤や液体窒素トラップで水分を除去して使うこともできます。＞水分を除去しないと正確な検査は難しいですよね？それは当事者にしか判りません。質問内容では情報が不十分です。どんな項目を測定するかさえ記載されていない。要はＤＵＴと針先にさえ結露しなきゃいいんでハウジングを小さく囲うアイディアとか　http://patent.astamuse.com/ja/published/JP/No/2009042028/ 針の交換やクリーニングが容易ならシリコンオイルや有機溶剤に液浸させて計るなんてことも不可能ではないですよ。

質問者