速度リップルの測定方法

質問

装置メーカーに勤めているものです。
今度、石定盤の上にリニアモーターとガイドがついたものを製作するのですが、速度リップルを測らなければいけないので、計測器を探しています。レーザー測長器で安価なものか、それに代わるもので安価なもの、ご存知のかたいらしたら、教えてください。
　また、石定盤の非破壊検査？等もどういった方法があるか模索しております。お力を貸してください。

回答No.2

noname#230359

最初に思いつくのは、構造体にもリニアエンコーダをつけて、リニアモータのエンコーダと比較することです。
１％以下の速度リップルを測定する場合、単純に時計に同期してエンコーダの値を読み込んだだけでは、リニアエンコーダ特有の基準スケールに同期した繰り返し誤差が乗ってしまい、正確な測定にはなりません。基準スケールの整数倍のカウント値に達した時間を見るようにします。
今回のように僅かな差を比較する場合は、エンコーダの基準スケール周期の誤差が確実に重畳するのでなおさらです。
そのほかの方法ですが、アクチュエータと構造体の動きの差は、構造にも寄りますが、オートコリメータで基準面の揺らぎを見てもいいし、二次元の加速度計で見るのもいいでしょう。
できれば複数の方法で検証したいところです。

石定盤のひび等の存在は超音波検査で確かめられるでしょう。

回答No.1

noname#230359

リニアエンコーダなど位置検出が元々モータについているタイプでは無いのですね?
　ついていても、分解能の割に超低速であればダメですが、そうでないならそのままPC上ででも微分すれば済んでしまいますが・・・
　また、石定盤の何を測りたいのですか?

補足

早速の回答ありがとうございます。
エンコーダはついているのですが、リニアのスライダの動きの速度リップルとその上の構造体のリップルをはかり比較したいと考えています。
　また、石定盤の内部の亀裂等をはかるべきかなと考えています。
　質問が不十分で申し訳ありません。