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※ ChatGPTを利用し、要約された質問です（原文：高真空環境下で用いる弁の構造）
高真空環境下で用いる弁の構造
このQ&Aのポイント
- 高真空環境下での弁の構造の基礎を学ぼう
- 真空環境における弁の選び方と注意点について知る
- 真空環境対応機器メーカーのウェブサイトを利用して情報を収集しよう
noname#230358
- 機械設計
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noname#230359
回答No.1
高真空用と一般のﾊﾞﾙﾌﾞとの差異ですが、特に高真空用に配慮されていると思 われることを下記します。 (1）筐体はSUSが一般的。 (2) シール剤への配慮：耐熱素材(フッ素系)を使用 多段シールの採用 (3) ベーキング(ガス抜き)できる構造：高真空陽の場合はベーキング処理済 (4) 分解・清掃が容易 など
