高真空環境下で用いる弁の構造

質問

初歩的な質問で失礼します。

高真空環境下（絶対圧で0.001Paﾚﾍﾞﾙです。）
で弁を設置する装置を構想中です。
（弁で制御する通路は真空ではありません。
　外部環境が高真空です。）
当然、一般のサニタリーﾊﾞﾙﾌﾞが使えるはずはないと思いますが、
真空環境対応機器メーカーのWEBを調べても
一般のﾊﾞﾙﾌﾞとの違いが、今ひとつわかりません。

わかりやすいWEBなどご存知な方がいらしたら
ご教授願います。

回答No.1

noname#230359

高真空用と一般のﾊﾞﾙﾌﾞとの差異ですが、特に高真空用に配慮されていると思
われることを下記します。
(1）筐体はSUSが一般的。
(2) シール剤への配慮：耐熱素材(フッ素系)を使用
　　　　　　　　　　　多段シールの採用
(3) ベーキング(ガス抜き)できる構造：高真空陽の場合はベーキング処理済
(4) 分解・清掃が容易
など

参考URL：

http://www.ulvac-seiki.com/goods/index.html http://www.canon-anelva.co.jp/news/fukutarou/zemi/5318.htm