真空テストのやり方

質問

はじめまして。
真空装置を製作してるんですが、本当に真空状態になってるかをテストしたえです。しかし、素人なんで真空ポンプもなければ知識もありません。
また、フランジでの接合になり接合部分にはＯリングを使用します。
このとき、ＯリングはＰ４００を使用してます。
溝寸法も不確かなんで、とても心配です。
溝寸法は内圧用で検討すればいいでしょうか？
本当に素人なんでみなさんからアドバイス頂きたいとおもいます。
真空テスト（漏れチェック）とＯリング溝寸法についてお願いします。
尚、今回の真空は－０．０９８Ｍｐａです。
本当に宜しくお願いします。

回答No.2

noname#230359

JISに真空装置用フランジの規格があります。下記より
JIS B2290でＪＩＳ検索してみてください。参考になると思います。
また、真空装置用のＯリングにも規格があります。
JIS B2401で検索してみてください。
あ、でもこのぐらいの圧なら外圧０．０９８ＭＰａＧとしてＯリング溝の寸法をみればよいと思います。
日本バルカー工業のＯリングのカタログなどをみれば溝の寸法は載っています。

参考URL：

http://www.jisc.go.jp/app/JPS/JPSO0020.html http://www.valqua.co.jp/products/download/index.html

お礼

アドバイス有り難うございました。
今日打ち合わせがあり、その中でＯリングをやめＪＩＳ１０ｋＦＦを使用して
テフロンパッキンで対応することになりました。
本当に有り難うございました。

回答No.1

noname#230359

【Ｑ－１】
本当に真空状態になってるかをテストしたい ⇒ 確認したいのですか？
【Ａ－１】
真空ゲージにて、真空度の確認ができます。購入し取り付けて確認して下さい。

【Ｑ－２】
Ｏリングの溝寸法不確かなんで、とても心配です。
【Ａ－２】
＊ 溝の加工寸法は、JISで決まっています。又、カタログにも記載があります。
＊ 溝寸法が確実に加工されているか？は、心配なら、貴殿が確認する事です。
　 <最初は、自分で何でも確認した方が良いです。若い内は身体も良く動くし…>

【Ｑ－３】
真空テスト（漏れチェック）は、どの様にするのか？…？
【Ａ－３】
真空ポンプ性能から判断する真空度と、例えばＯリングを使用しているタンクの真空度
との差があれば、『漏れ』ています。
<確認するタンクの接続配管は、真空ポンプ以外はプラグ栓にした方が良いでしょう>

お礼

回答有り難うございます。
素人なんでまだまだ勉強不足ですね・・・。
これからもがんばっていきます。
本当に有り難うございました。