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※ ChatGPTを利用し、要約された質問です（原文：ITO基板の洗浄）
ITO基板の洗浄について
このQ&Aのポイント
- ITO基板の洗浄にはUV/オゾン洗浄機と酸素プラズマ洗浄機が利用されます。
- UV/オゾン洗浄機は、UV光とオゾンによって表面を浄化し、有機物や微小な不純物を除去する効果があります。
- 一方、酸素プラズマ洗浄機は、高エネルギーの酸素プラズマを用いて表面を浄化し、静電気を取り除く効果があります。
noname#230358
- その他（表面処理技術）
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noname#230359
回答No.1
下記先にお聞きしたらと思います。 asia1040@mercury.plala.or.jp
- 参考URL：
- http://www.yukawacut.jp
