ITOスパッタ装置

質問

ITOスパッタリング装置を探しています。

産業分野：パネル
ガラス基板サイズ：1300ｘ1500ｍｍ
出力時間：45秒／トレー

装置に関する資料は以上で、
もし似てる装置がありましたら教えて下さい。
ありがとうございます！

回答No.3

noname#230359

回答(2)さんがご指摘の内容は、
参考URLの、輸出令第６項（５）コーティング装置又はその自動操作のための部分品
に該当するものと想像します。

法律の文章は、日本人にとっても難解なものです。
中古品をお探しとしても、信頼できる代理店を経由することが必要と思います。

参考URL：

http://www.meti.go.jp/policy/anpo/kanri/shyourei-matrix/matrix6.htm

回答No.2

noname#230359

スパッタリング装置は貿易輸出管理令における該当貨物である可能性
が高く、もし海外に設備する場合は経済産業省の輸出許可が必要にな
るかもしれません。
従って、キチンとメーカにご相談することをお勧めします。
（メーカも見当がつかないとなると困りますが，，，）

回答No.1

noname#230359

たぶん、その質問文では誰も判らないです。

パネル用途には最近だとインセルＴＰ用にも液晶用にも
ＩＴＯ膜が使われるけど精度は全然違います。