基板の微細加工

質問

ガラス基板で実験用のスリット状の電極を作ろうとしています。
求められている条件は次の通りです。
１．電極間スキマは、５～２５μｍ±５％（目標は５μｍ）。
２．電極の断面は、機械で加工したような直角でエッジが付いた断面が欲しい。
３．ガラス基板には多少のキズが付いても構わない。
このような加工は出来るのでしょうか？
よろしくお願いします。

後からダイサーで溝を入れたり、
予めスリットの部分にパターン(電極)が付かないようにマスキングをしたり、
・・・と、何通りか方法があるようです。
この質問は、一旦締め切らせていただきます。

回答No.1

noname#230359

ガラスに溝を入れるような加工と考えていいのでしょうか。

補足

できたら、パターンだけに５～２５μｍを作りたいのですが、
ガラスに多少の溝やキズがついても構いません。
よろしくお願いします。